Bosch工艺
的有关信息介绍如下:Bosch工艺是指在集成电路制造中为了阻止或减弱侧向刻蚀,设法在刻蚀的侧向边壁沉积一层刻蚀薄膜的工艺。因最早由Robert Bosch提出,亦被称为Bosch工艺。
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Bosch工艺是指在集成电路制造中为了阻止或减弱侧向刻蚀,设法在刻蚀的侧向边壁沉积一层刻蚀薄膜的工艺。因最早由Robert Bosch提出,亦被称为Bosch工艺。
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