扫描质子微探针
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扫描质子微探针（scanning proton microprobe）缩写SPM，简称质子微探针，是基于物质中待测原子受微米尺度质子束激发时放出的特征X射线的鉴别，实现对元素组成分析的技术。特点是能对微小样品或样品上的微小区域进行无损直观的高灵敏度多元素分析，或高空间分辨率的密度分布分析。元素相对分析灵敏度可达1微克/克，比扫描电子微探针高2—3个量级。因此，扫描质子微探针自20世纪70年代初问世于英国哈威尔实验室以来，发展极其迅速，已成为一种重要的核分析技术。
借助电子计算机控制扫描和数据运算，最后由计算机给出各元素在样品中的分布。
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